روسيا تنجح في تطوير أول آلة لتصنيع الشرائح الإلكترونية بدقة 130 نانومتر

أكمل مركز زيلينوغراد لتقنية النانو (ZNTC) في روسيا تطوير نموذج أولي لآلة طباعة حجرية ضوئية (Photolithography) مخصصة لإنتاج الشرائح الإلكترونية بدقة تصنيع 130 نانومتر، وتستطيع معالجة رقائق السيليكون بقطر يصل إلى 200 ملم. وأعلن المركز في أغسطس 2026 استكمال المرحلة الثالثة من أعمال التطوير، فيما يخضع النموذج الأولي للاختبارات الهندسية، تمهيداً لاختبار عمليات التصنيع قبل الانتقال إلى الإنتاج الكمي.

وتُعد هذه الآلة أول نموذج روسي للطباعة الحجرية الضوئية بهذه الدقة، وقد طُوّرت بالتعاون مع شركة Planar البيلاروسية وشركة Lassard الروسية. تولت Planar تطوير أجزاء من النظام الميكانيكي وتصنيع مكوناته، بينما طورت Lassard مصدري الليزر المستخدمين في الآلة، وتولى مركز ZNTC تطوير النظام العام وحسابات البصريات وتصميم معدات الاختبار وتطوير عملية التصنيع. 

وتستخدم الآلة مصدرَي ليزر إكسيمر بطول موجي 193 نانومتراً، وهي تقنية ضوئية مستخدمة في صناعة أشباه الموصلات منذ سنوات طويلة. وتبلغ الميزانية الحكومية المخصصة للمشروع نحو 5.7 مليار روبل، أي ما يقارب 70 مليون دولار.

وتعود تقنية تصنيع 130 نانومتراً إلى بداية الألفية، فقد أعلنت إنتل اكتمال تطويرها عام 2000 وبدأت الإنتاج التجاري عام 2001، وانتقلت AMD إلى تصنيع معالجاتها بهذه الدقة عام 2002. وهذا يضع الآلة الروسية في مستوى تقني يعود إلى نحو ربع قرن.

ولا يعني اكتمال النموذج الأولي بدء تصنيع الشرائح تجارياً باستخدامه؛ إذ أعلن مدير مركز ZNTC أن الآلة تحتاج إلى اجتياز الاختبارات الأولية واستكمال تطوير عملية التصنيع قبل تسليمها إلى المصانع. ويستهدف المركز بدء التعاقد على توريد الآلات خلال عام 2027.

ويمثل المشروع خطوة روسية مهمة في تطوير معدات تصنيع الشرائح محلياً، مع بقاء الانتقال إلى تقنيات أدق مثل 90 و65 نانومتراً هدفاً لمراحل تطوير لاحقة.